160000 Россия, г. Вологда
ул. М. Ульяновой, 1, 7
тел./факс: (8172) 21-17-69
Магазин: (8172) 75-92-12
Adm@booksite.ru

  • Галперин В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие  – М. : Бином. Лаборатория знаний, 2010. – 283 с.  – ISBN 978-5-9963-0032-7
В книге рассматриваются процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии оборудования. Пособие предназначено для студентов технических факультетов вузов, аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами интегральных схем и микромеханики. (Техническая литература. Состояние отличное, библиотечные штампы погашены)

Написать отзыв

Примечание: HTML разметка не поддерживается! Используйте обычный текст.
    Плохо           Хорошо

Галперин В. А. Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях : учебное пособие – М. : Бином. Лаборатория знаний, 2010. – 283 с. – ISBN 978-5-9963-0032-7

  • Наличие: 1
  • 150.00руб.