В книге рассматриваются процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии оборудования. Пособие предназначено для студентов технических факультетов вузов, аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами интегральных схем и микромеханики. (Техническая литература. Состояние отличное, библиотечные штампы погашены)