Рис. 2а — внешний вид крионасоса и откачиваемого рабочего объёма: 1 — корпус крионасоса; 2 — рабочий объём; 3 — электронная система управления и регулировки; 4 — сосуд с жидким азотом и 5 — с жидким гелием.

Оглавление